Увод у апликацију
Аутоматско складиштење и управљање материјалом у производњи полупроводника
Се односи на :
1.Складиштење велике густине, велика искоришћеност простора, пуна употреба висинског простора
2.Фаст беат
3.Интегрисан у систем управљања материјалом у радњи
4.Фаст имплементација, аутоматски ниво наставе тест
5. Компатибилан са АРВ / ОХТ / ОХС / ручним и другим аутоматским процесима
6. У складу са Цлеанроом ИСО14644-14, СЕМИ С2 стандардом и ЕСД стандардима
Увод у функцију
*Користи се за он-лине складиштење полупроводника, подржава ФОУП, КАСЕТУ, Магазин, Траи и друге
*Може да се прикључи на АРВ, подржава ручно утовар и истовар
*У складу са Цлеанроом ИСО14644-14, СЕМИ С2 стандардом и ЕСД стандардима
*Стандардни СЕМИ софтверски интерфејс
*Модуларни дизајн
Блоцк4. Но.358 Јинху Роад, округ Пудонг, Шангај, Кина